Nhu cầu về nước tinh khiết cao trong ngành công nghiệp bán dẫn của Đài Loan
Trong sản xuất chất bán dẫn, nước siêu tinh khiết (UPW) và hệ thống lọc hóa chất đóng vai trò cực kỳ quan trọng trong việc duy trì quy trình sản xuất ổn định. Khi công nghệ bán dẫn tiên tiến tiếp tục phát triển, các nhà máy sản xuất chất bán dẫn đang đòi hỏi những tiêu chuẩn cao hơn nữa về độ tinh khiết của nước và độ tin cậy của thiết bị. Nếu xảy ra hiện tượng tắc nghẽn bộ lọc, chênh lệch áp suất bất thường hoặc giám sát chậm trễ trong hệ thống lọc, điều này có thể ảnh hưởng đến sự ổn định của quy trình, làm tăng thời gian ngừng hoạt động và chi phí bảo trì. Do đó, giám sát thiết bị lọc theo thời gian thực đã trở thành một phần quan trọng trong quản lý cơ sở sản xuất chất bán dẫn.
1. Thông tin về khách hàng
Công ty Sản xuất Bán dẫn Đài Loan (TSMC) tiếp tục mở rộng các cơ sở sản xuất tiên tiến của mình đồng thời đầu tư vào các dự án xử lý nước và hệ thống tiện ích quy mô lớn để đáp ứng các tiêu chuẩn cao cần thiết cho quy trình sản xuất bán dẫn. Vì sản xuất bán dẫn đòi hỏi một lượng lớn nước siêu tinh khiết và chất lỏng hóa học, thiết bị lọc và hệ thống tuần hoàn trong các cơ sở xử lý nước phải hoạt động liên tục và đáng tin cậy.
2. Thách thức của khách hàng
Hệ thống xử lý nước trong ngành công nghiệp bán dẫn hoạt động 24/7, và các bộ lọc có thể tích tụ dần các chất gây ô nhiễm theo thời gian, dẫn đến sự thay đổi áp suất chênh lệch. Nếu không có hệ thống giám sát thời gian thực, các vấn đề như tắc nghẽn bộ lọc, giảm lưu lượng, tăng tiêu thụ năng lượng và thời gian ngừng hoạt động ngoài dự kiến có thể xảy ra, đồng thời làm tăng khối lượng công việc kiểm tra và bảo trì.
3. Yêu cầu của khách hàng
Để nâng cao hiệu quả quản lý hệ thống và độ tin cậy của thiết bị, khách hàng yêu cầu một giải pháp giám sát áp suất chênh lệch có khả năng giám sát bộ lọc theo thời gian thực, xuất tín hiệu cảnh báo, chống ăn mòn và hoạt động ổn định lâu dài. Mục tiêu là giảm khối lượng công việc kiểm tra thủ công đồng thời cải thiện hiệu quả bảo trì và an toàn vận hành.
4. Giải pháp
Để đáp ứng yêu cầu của khách hàng, SJ Gauge đã cung cấp giải pháp “Đồng hồ đo áp suất chênh lệch tiếp xúc” để giám sát hệ thống lọc. Đồng hồ này có thể đồng thời giám sát áp suất đầu vào và đầu ra để hiển thị trực tiếp sự thay đổi áp suất chênh lệch và nhanh chóng xác định tình trạng tắc nghẽn bộ lọc.
Khi chênh lệch áp suất vượt quá giá trị cài đặt trước, đầu ra tiếp điểm tích hợp imm có thể ngay lập tức kích hoạt tín hiệu báo động để dễ dàng tích hợp với PLC và hệ thống điều khiển.
Sản phẩm có thiết kế mặt đồng hồ lớn giúp dễ dàng quan sát trong quá trình kiểm tra tại chỗ và sử dụng cấu trúc bằng thép không gỉ để tăng cường khả năng chống ăn mòn và độ bền lâu dài. Sản phẩm phù hợp cho các hệ thống xử lý nước bán dẫn, hệ thống nước siêu tinh khiết (UPW), hệ thống lọc hóa chất và các ứng dụng kỹ thuật tiện ích.
(Đọc thêm: Đồng hồ đo áp suất chênh lệch)
(Đọc thêm: Đồng hồ đo áp suất tiếp xúc)
5. Kết luận
Giải pháp giám sát áp suất chênh lệch tiếp xúc của SJ Gauge giúp TSMC theo dõi điều kiện hoạt động của hệ thống lọc trong thời gian thực, cho phép nhân viên bảo trì nhanh chóng xác định sự thay đổi tổn thất áp suất của bộ lọc và giảm nguy cơ ngừng hoạt động đột xuất.
Thông qua chức năng giám sát và cảnh báo áp suất chênh lệch, giải pháp này giúp nâng cao hiệu quả quản lý thiết bị đồng thời giảm thiểu khối lượng công việc kiểm tra thủ công. Kết hợp với kết cấu thép không gỉ bền bỉ và thiết kế dễ quan sát, nó đáp ứng đầy đủ nhu cầu về độ tin cậy cao và hoạt động ổn định của ngành công nghiệp bán dẫn.
