台湾の半導体産業における高純度水要求
半導体製造において、超純水（UPW）と化学ろ過システムは、安定した生産プロセスを維持するために不可欠です。高度な半導体技術の進化に伴い、半導体製造工場では、水の純度と装置の信頼性に関して、さらに高い基準が求められています。ろ過システム内でフィルターの目詰まり、異常な差圧、または監視の遅延が発生すると、プロセスの安定性に影響を与え、ダウンタイムとメンテナンスコストが増加する可能性があります。そのため、ろ過装置のリアルタイム監視は、半導体製造施設の管理において重要な要素となっています。.
1.顧客背景
台湾積体電路製造（TSMC）は、半導体製造プロセスに求められる高い基準を満たすため、先進的な製造施設の拡張を継続すると同時に、大規模な水処理およびユーティリティシステムプロジェクトへの投資も行っています。半導体製造には大量の超純水と化学薬品が必要となるため、水処理施設内のろ過装置や循環システムは、継続的かつ確実に稼働しなければなりません。.
2.お客様の課題
半導体製造工場の水処理システムは24時間365日稼働しており、フィルターエレメントには時間の経過とともに徐々に汚染物質が蓄積され、差圧の変化が生じる可能性があります。リアルタイム監視を行わないと、フィルターの目詰まり、流量の低下、エネルギー消費量の増加、予期せぬダウンタイムなどの問題が発生する可能性があり、点検・保守作業の負担も増大します。.
3. 顧客要件
システム管理の効率性と機器の信頼性を向上させるため、顧客はリアルタイムのフィルター監視、アラーム接点出力、耐腐食性、および安定した長期運転が可能な差圧監視ソリューションを求めていました。目標は、手動点検の作業量を削減しつつ、保守効率と運用安全性を向上させることでした。.
4.解決方法
顧客の要望に応えるため、SJ Gaugeはろ過システム監視用の「接触式差圧計」ソリューションを提供しました。この計器は入口圧力と出口圧力を同時に監視し、差圧の変化を直接表示することで、フィルターの目詰まり状態を迅速に特定できます。.
差圧がプリセット値を超えると、内蔵の接点出力がアラーム信号を繰り返しトリガーし、PLCや制御システムとの容易な統合を実現します。.
本製品は、現場検査時の視認性を高める大型ダイヤル設計を採用し、耐腐食性と長期耐久性を向上させるためにステンレス鋼構造を使用しています。半導体製造用水処理システム、超純水処理システム、化学ろ過システム、およびユーティリティエンジニアリング用途に適しています。.
5.結論
SJ Gaugeの接触式差圧監視ソリューションは、TSMCがろ過システムの稼働状況をリアルタイムで監視するのに役立ち、保守担当者がフィルターの圧力損失の変化を迅速に特定し、予期せぬダウンタイムのリスクを軽減することを可能にします。.
差圧監視機能と警報機能により、本ソリューションは機器管理効率を向上させると同時に、手動検査の作業負荷を軽減します。耐久性に優れたステンレス鋼構造と視認性の高い設計により、半導体業界が求める高い信頼性と安定した動作を完全に満たします。.
