台積電 TSMC

台灣半導體產業的高純水需求

在半導體製程中,超純水(UPW)與化學液過濾系統,是維持製程穩定的重要環節。隨著先進製程持續升級,晶圓廠對水質潔淨度與設備穩定性的要求也越來越高。若過濾系統出現濾芯阻塞、壓差異常或監測不即時,不僅可能影響製程穩定,更可能增加停機與維護成本,因此即時掌握過濾設備狀態,已成為半導體廠的重要管理課題。

台灣積體電路製造股份有限公司(TSMC 台積電)持續擴建先進製程廠區,並同步導入大型水處理與公用系統工程,以滿足半導體製程對超純水與流體控制的高標準需求。由於製程中需長時間使用大量超純水與化學液體,因此水處理系統中的過濾設備與循環系統,皆需維持穩定運作。

半導體水處理系統需 24 小時連續運轉,過濾設備在長時間使用後,濾芯容易因雜質累積而產生壓差變化。若無法即時掌握差壓狀態,可能導致濾芯阻塞、流量下降、設備能耗增加,甚至提高非預期停機風險,同時也增加巡檢與維護負擔。

為提升水處理系統管理效率與設備穩定性,客戶希望導入可即時監測過濾器壓差的監測設備,並具備接點警報功能、耐腐蝕能力與長時間穩定運行特性,同時降低人工巡檢負擔,提升維護效率與安全性。

針對現場需求,SJ 炘珈儀錶提供「接點式差壓錶」作為水處理過濾系統監測方案,可同步監測過濾器前後壓力差,快速判斷濾芯堵塞狀況。

當差壓超過設定值時,可透過接點輸出即時警報訊號,方便整合 PLC 與控制系統。

產品採用大型刻度錶盤設計,方便現場人員快速辨識壓力狀態,並使用不鏽鋼結構提升耐腐蝕性與設備穩定性,適合半導體水處理、UPW 超純水系統、化學液過濾與公用工程系統等應用環境。

(延伸閱讀: 差壓錶)
(延伸閱讀: 接點壓力錶)

SJ 炘珈儀錶提供的接點式差壓監測方案,可協助台積電水處理系統即時掌握過濾設備運行狀態,快速判斷濾芯壓損變化,降低非預期停機風險。

透過差壓監測與警報功能,不僅提升設備管理效率,也有效減少人工巡檢負擔,更符合半導體產業對高穩定性與高可靠性的設備需求。

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