Micron Technology, Inc.

半導体工場のユーティリティシステム
半導体工場のクリーンルームは、大規模で複雑なユーティリティシステムによって支えられています。冷却設備、水循環設備、薬液供給設備などは、生産環境を安定して維持するために欠かせません。これらの付帯設備の信頼性を確保することは、生産停止の防止に直結します。

1. 顧客概要

Micronの台湾拠点では、クリーンルーム外に大規模なユーティリティ設備を配置しています。これらの設備は、工場内の環境と製造装置の稼働を維持するために必要な冷却水、処理水、空調などを供給・管理しています。

ユーティリティエリアには複雑な配管が集中し、高圧設備や接近しにくい測定箇所もあります。照度が低い場所や配管が密集した場所では、計器の表示を確認しにくく、点検に時間がかかります。視認性の低い計器は、日常点検の効率低下や、圧力・温度変化への対応の遅れにつながります。

設備管理で重視されたのは「視認性と信頼性」です。技術者が安全な距離から短時間で状態を確認でき、産業設備の使用環境に耐え、既存の保守点検業務へ導入しやすい計器が求められました。

SJ Gaugeの工業用圧力計およびMTB.S_BL温度計は、このようなユーティリティ設備での使用を想定しています。

MTB.S_BLの測温性能：温度変化への応答性と見やすい目盛により、液体・気体の温度をすばやく確認できます。 産業用モニタリング専用に設計されたMTB.S_BLは、優れた温度感度と視認性の高いダイヤルを備えており、技術者が液体/気体の温度を一目で確認できるようになっています。
優れた視認性：大きな文字と高コントラストの目盛板により、配管が密集した場所でも離れた位置から指示値を確認しやすくなります。 高コントラストで太字の数字が表示された大型ダイヤルディスプレイにより、雑然としたユーティリティ通路でも遠くから正確な状態読み取りが可能になります。
産業環境に適した耐久性：機械室で想定される振動や湿気を考慮した構造です。 頑丈な部品で製造されたこれらの計器は、大規模な機械室に特有の振動や湿気に耐えることができます。

MTB.S_BLをはじめとするSJ Gaugeの高視認性計器を導入することで、ユーティリティ設備の安全な運用と保守点検の効率向上に貢献します。離れた位置から指示値を正確に確認できるため、見落としを減らし、点検作業を効率化しながら、クリーンルームを支える設備の安定運用につなげることができます。